安裝條件

本設(shè)筐要求在海拔1000m以下，溫度25。。=15。（2,濕度55%Rh=10%Rh下使用。

1、 水：不需要

2、 電：AC220\'50Hz,必須有良好接地

3、 氣：如作為CVD系統(tǒng)使用，需自備氣源（標(biāo)準(zhǔn)帝有寶塔接頭，可自斐改制成為雙卡套接頭）

4、 工作臺：R\T600mmx600mmx700mm,承重 100kg以上

5、 通風(fēng)裝豈:—需要

主要特點(diǎn)

1、 雙層殼體，甑有循環(huán)風(fēng)冷系統(tǒng)。

2、 爐體釆用高純度氧化鋁多晶纖維保溫材料，大成都的減少能里的損失。

3、 內(nèi)爐膛表面涂有進(jìn)口氧化鋁涂層，可以提高反射率及潔浄度。

4、 為了防止熱里以熱輻射的形式損失，甑有兩套氧化鋁管堵。

5、 采用PID控制器，可以設(shè)置30段升降溫程序。

6、 已通過CE認(rèn)證。

技術(shù)參教

1、 電源：AC220V 1.2KW

2、 石英管：外徑025mm，內(nèi)徑020mm，長450mm

外徑050mm, 內(nèi)徑043mm，長450mm

3、 加熱元件：摻鑰鐵銘鋁合金電阻絲，表面涂有氧化錯

4、 加熱區(qū)域：200mm

5、 工作溫度：高1200‘C ?lh），連續(xù)工作1100°C

6、 大升降溫速率:10°C min

7、 控溫精度：±rc

8、 真空度：10-²torr （機(jī)械泵）

產(chǎn)品規(guī)格

尺寸：750mmX 300mm X400mm；重里：ISks

標(biāo)準(zhǔn)反件

1 氧化鋁管堵 2套

2 不銹鋼法蘭 1套

可迭聲件

1、 石英營堵

2、 波

3、 數(shù)字真空計

4、 KF25轉(zhuǎn)換接頭

5、 卡套接頭（06.35mm，可使?fàn)t管內(nèi)獲得微正壓）