提供您在CIS/ALS/光傳感器晶圓級(jí)測試中所需的一切。

SG-O光炎量子效率分析儀光傳感器晶圓測試儀是一款CIS/ALS/Light-Sensor晶圓測試儀，它結(jié)合了高度均勻的光源和半自動(dòng)晶圓探測器。高度均勻光源可以提供從400nm到1700nm的連續(xù)白光光譜，以及在許多不同波長下具有一定FWHM的單色光輸出。探測器可以處理大。200mm晶圓尺寸和尺寸大于1cmx1cm的單芯片。SG-O集成了超低噪音熱卡盤，可提供 -60°C至180°C的溫度范圍，具有快速的升溫速度和穩(wěn)定性。SG-O提供您在CIS/ALS/光傳感器設(shè)計(jì)驗(yàn)證或工藝良率檢查中所需的一切。

SG-O光炎量子效率分析儀光傳感器晶圓測試儀特點(diǎn)：

應(yīng)用：

CIS/ALS/光傳感器晶圓測試

CIS/ALS/光傳感器晶圓映射和良率檢查

ToF傳感器測試

激光雷達(dá)傳感器測試

InGaAs PD測試

SPAD傳感器測試

光傳感器模擬參數(shù)測試：

量子效率

光譜響應(yīng)

系統(tǒng)增益

靈敏度

動(dòng)態(tài)范圍

暗電流/噪聲

信噪比

飽和容量

線性誤差（LE）

DCNU（暗電流非均勻性）

PRNU（光響應(yīng)非均勻性）

系統(tǒng)設(shè)計(jì)：

SG-O CIS / ALS / Light-Sensor測試儀（晶圓級(jí)）系統(tǒng)圖。高度均勻的光源由PC-1控制。光輸出由光纖引導(dǎo)到光學(xué)均化器以產(chǎn)生均勻的光束。顯微鏡和均質(zhì)器由PC-1的自動(dòng)平移臺(tái)控制，以切換位置和功能。Prober系統(tǒng)為MPI TS2000，由PC-2 控制?？ūP臺(tái)的位置也由PC-2控制。熱卡盤溫度可控制在-55℃至180℃，涵蓋了大部分 IC測試溫度范圍。光強(qiáng)度由一個(gè)Si 光電探測器和一個(gè)InGaAs光電探測器通過皮安電流表檢測和校準(zhǔn)。

規(guī)格：

主要表現(xiàn)

SG-O系統(tǒng)的操作軟件。對(duì)于高度均勻光源控制軟件，SG-O提供光源系統(tǒng)控制和光強(qiáng)測量。提供了各個(gè)光學(xué)組件的 Labview功能調(diào)色板、驅(qū)動(dòng)程序/DLL文件。該軟件控制所述平移臺(tái)以促進(jìn)照射大是在零件的設(shè)備。集成鏈接的整合包括發(fā)送/接收命令，例如芯片步進(jìn)、芯片對(duì)齊/探測等。